20nm在线与样品监测
20nm化学品颗粒计数器：Chem 20™/SM
通过Particle Measuring Systems（PMS）Chem 20™ 化学液体颗粒计数器系列，帮助您快速响应化学品状态变化，预防工艺失效和器件性能下降风险。产品满足国际器件与系统路线图（IRDS）对先进半导体制造污染控制的要求。
可选型号：
Chem 20™ – 可检测低至20 nm的颗粒，为先进化学品监测提供卓越的检测能力，助力前沿半导体制造工艺的污染控制。
Chem 20™ SM – 专为IPA（异丙醇）、PGMEA（丙二醇甲醚醋酸酯）等危险化学溶剂应用环境设计，在确保安全运行的同时实现高灵敏度颗粒监测。
产品细节
通过预防工艺污染，提高生产良率，减少产品缺陷与召回风险。Chem 20™系列可满足从来料质量控制（Incoming QC）到使用点（Point of Use）的在线监测和批次取样化学品监测需求，为关键工艺提供全面的污染控制保障。全新推出的 Chem 20™ SM进一步将监测范围扩展至危险化学溶剂应用，为先进制造环境提供更广泛的颗粒监测能力。
